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主要服务项目
新型气体FIB切割服务

IC芯片电路修改

Cross-section 截面分析

Decap芯片开封

FIB透射电镜样品制备

北京.西三环.花园桥
电话:+86-10-6845-0201
E-mail:

北京.海淀.西二旗
电话:+86-10-5885-6687

上海.浦东.集电港
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深圳.南山.科技园
电话:+86-
无锡.新区.国合园
电话:+86-
成都.高新.孵化园
电话:+86-28-8602-8526
西安.雁塔.自力
电话:+86-29-8821-5437

FIB(聚焦离子束)是将液态金属(Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM(扫描电子显微镜)相似,或用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。

公司简介

    纳瑞科技(北京)有限公司是由在聚焦离子束(扫描离子显微镜)应用技术领域有多年经验的技术骨干创立而成。我们为集成电路设计和制造工业,光电子工业,纳米材料研究客户提供一流的分析技术服务。我们特别专注于离子束应用技术在 IC芯片修改以及失效分析领域的技术开发。利用我们的技术实力为IC 设计,制造客户提供世界水平的分析技术服务。》more

技术专长

针对0.18微米线宽以下多层铜布线芯片的修改工艺

针对模拟信号IC芯片的低阻值连接

针对长距离连线的低阻值连接

新型气体源FIB切割加工服务

线路修改 FIB透射电镜样品制备 截面分析 新型气体切割 新型气体切割
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